广泛气体的种类

电子器件产业链中广泛气体的分类：

一般气体，也称大宗商品现货气体 (Bulk gas )：有害气体(H2)、N2(N2)、co2(O2)、氩气(A2)等

独特气体(Specialty gas )重要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6这种

与众不同气体的种类一般可分为浸蚀、毒性、易燃性、燃烧性、可塑性等，一般普遍的半导体器件气体分类下列：

(一)、浸蚀 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 等

(二)、易燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

(三)、燃烧性：O2、Cl2、N2O、NF3等

(四)、可塑性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半导体器件气体很多 是对人体伤害。尤其是在这其中一些气体如SiH4的自燃性，如果一泄漏便会与空气中的co2起明显体现，一开始引燃;也是有AsH3的剧毒性，一切一丝的泄漏都很有可能造成 工作员生命的损害，也就是因为这类显而易见的风险性，因而 对于自动控制系统设计方案安全性能的要求就特别是在高。

高纯气配管技术性是高纯气体管道系统的重要组成一部分，是能否将合符要求的高纯气体送到用气点仍保持质量合格的关键技术;简言之高纯气配管技术性包括系统的适当方案设计、管件及零配件的选择、建筑施工安装和试验检验等内容。